產品介紹
NEMST-D2002ILD NEMST-D2002ILS
連續式電漿去膠渣機
- 採用中頻的 MF 電漿電源供應器，並利用獨特的高密度感應耦合式電漿電極設計，以產生高密度的電漿。
- 採用水冷式電極設計，可確保電極表面阻抗一致性，增加製程穩定度。
- 可選擇多種製程氣體或混合氣。
- 單腔體或雙腔體連續自動化設計。
- 每一腔體擺一片PCB板，清潔/蝕刻效率高，均勻度亦大幅提高。
- 為In-line製程，100%自動化設備，可減少人力並達成全線生產自動化的目標。
- 單片或雙片之電漿處理，可達高度清潔效果與均勻性。
- PC BASE 可搭配客製化軟體需求。
- 可與生產監視系統或SECS/GEM等生產控制系統進行連線。
- 全自動化生產，降低對板材線路損傷的風險。
- 蝕刻/去膠渣/去殘膠/表面清潔/表面改質。
- 盲埋孔或通孔之電漿處理。
- 介層附著力之提升。
- 光阻或光阻劑之去除。
- 任何表面活化、表面粗糙度改善或表面改質之應用。